振動(dòng)分析是一個(gè)非常廣泛而復(fù)雜的領(lǐng)域，它利用了測試和診斷學(xué)科的多個(gè)方面，從狀態(tài)監(jiān)視到缺陷檢測。傳感器技術(shù)的改進(jìn)現(xiàn)在也允許在微型/中型世界中使用振動(dòng)分析方法。非接觸式***速(寬帶)激光傳感器(通常為位移傳感器)可以克服加速度計(jì)所表現(xiàn)出的傳統(tǒng)限制，因此可以執(zhí)行***精度和局部化的分析。

　　振動(dòng)分析方法可以細(xì)分為四個(gè)主要領(lǐng)域：

　　•時(shí)域

　　•頻域

　　•聯(lián)合域(時(shí)/頻域)

　　•模態(tài)分析

　　每個(gè)域都提供有關(guān)振動(dòng)部分的工作條件和功能的特定信息。

　　通常情況下，時(shí)域分析是專門于檢測到所述測試部件的整體性能：峰值，平均值，根均方(RMS)，振動(dòng)振幅的包絡(luò)值。將這些值與閾值進(jìn)行比較，以檢測異常性能或潛在缺陷。

　　當(dāng)通過傅立葉變換計(jì)算(或快速傅立葉變換 – FFT)將被測信號(hào)分解為一系列頻率分量(頻譜)時(shí)，頻域能夠提供更多信息。對(duì)不同頻率分量的局部分析允許將簽名與處理后的信號(hào)相關(guān)聯(lián)，從而可以通過其自己的簽名來精確識(shí)別被測部件(簽名分析)。由于信號(hào)的時(shí)變特性，可以發(fā)現(xiàn)在時(shí)間觀察窗口上計(jì)算許多頻譜很有用。為此，可以非常有效地使用聯(lián)合時(shí)間/頻率技術(shù)(Gabor-Wigner-Wavelet)。在時(shí)間/頻率分析的特定情況下，頻譜與轉(zhuǎn)速相關(guān) 這樣就可以對(duì)被測設(shè)備進(jìn)行“階次分析”(階次分析)，從而可以分析由隨速度變化的頻率分量表示的單個(gè)階次。

　　模態(tài)分析允許研究結(jié)構(gòu)在振動(dòng)激勵(lì)下的動(dòng)力特性。該技術(shù)使用FFT來執(zhí)行傳遞函數(shù)，該傳遞函數(shù)顯示一個(gè)或多個(gè)諧振，通過該傳遞函數(shù)可以估算被測零件的特征質(zhì)量，阻尼，剛度和其他特性。使用激光干涉儀和合適的軟件工具，可以將非接觸式振動(dòng)分析應(yīng)用于MEMS的測試和測量(微機(jī)電系統(tǒng))和MOEMS(微機(jī)電系統(tǒng))動(dòng)力學(xué)和地形。